定制化集成流量控制系统：新产品SLI是测量基于水或碳氢化合物（酒精，溶剂，油，燃气，粘合剂）的高精度解决方案。

由于采用Sensirion充分验证的热式微传感器科技，SLI开辟了灵敏度、稳定性和速度方面的新高度，快速响应和超高精度确保SLI流量计可精确监控高动态过程控制，例如定量给料系统 。该传感器无任何活动部件，透过直管流道的管壁进行无侵害测量。采用专用的高惰性生物兼容材料（石英玻璃，聚醚醚铜或聚四氟乙烯）来确保触液材料与液体介质的兼容性。

基于智能RS485数字接口的传感器可长距离通讯，具有较大的总线容量，并可自动确定总分散量。任何时候都可获得实际分散量。


特征

• 在微升到毫升的范围内可使用三个流量范围
• 水基液体流量：多达5毫升/分钟
• 碳氢化合物流量：最高80毫升/分钟
• 精度高于测量值的1%
• 最高敏感度低至1ul/分钟
• 快速响应时间低至30毫秒
• 智能RS485数字接口
• 无移动部件，直流路径，超级媒体兼容性
• 触液材料：玻璃，聚醚醚铜和聚四氟乙烯（惰性，生物兼容性
• 最大工作压力高达100 bar（1500psi）（根据流量范围而定

应用

• 全程监控
• 泵控制
• 燃料流量监控
• 润滑剂用量监控
• 喷涂监控
• 检漏

新型SLQ-QT500可测水基液体以及碳氢化合基液体，最大测量流量为120ml/min。这对于半导体行业中喷涂系统的合成以及其它行业中配量和流量应用的广泛组合是非常理想的。

由于采用Sensirion的充分验证的热式微传感器科技，SLQ-QT500开辟了在灵敏度，稳定性和速度新的高度。触液材质为PFA配件及石英玻璃管。整个流路笔直且传感器中没有障碍物或移动部件。SLQ-QT500几乎适合任何粘度的液体以及在其对石英玻璃管无磨损的含小颗粒的液体。

基于智能RS485数字接口的传感器可长距离通讯，具有较大的总线容量。出色的敏感度和测量速度让监督或控制快速配量操作成为可能。可通过自动配量检测获得流体瞬时流量以及总配量输出。在校准H2O和异丙醇时可使用该传感器。

新SLQ系列流量计无移动部件，具备高可靠性和化学兼容性。基于MEMS的介质隔离传感器专用于自动化系统。这些小型高灵敏度流量计能够实现动态流量的精确快速测量。同样，也可进行气泡检测。适用于流速低于100毫升/分钟的介质。高灵敏度CMOSens®微芯可通过玻璃直管路检测纳升级流量。


特征

• 流量低于100毫升/分钟（碳氢化合物）
• 在低流量测量时保证最高灵敏度
• 超快速反应时间（小于50毫秒）适用于超快速配料系统
• 玻璃材质的直流路径，无移动部件
• 适合碳氢化合物：酒精，溶剂，油，燃料，粘合剂等
• 外壳坚固适用于工业应用
• 超强耐化学性，惰性材料
• 卓越的重复性
• 可用保护剂IP65
• 模拟输出0...10V
• 24V电源电压

应用

• 全程监控
• 燃料流量监控
• 润滑剂配量监控
• 喷涂监控
• 测漏
• 气泡检测
• 流量有/无检测

针对镀膜系统的高端需求,我们推出一款新产品SLQ-QT105，这是一款半导体级别的传感器解决方案，用于测量流速低于120ML/MIN 的碳烃化合物，例如光阻和溶剂。 由于采用Sensirion充分验证的热式微传感器科技，其开辟了在灵敏度，稳定性及速度方面的新高度。SLQ-QT105的极短的响应时间可以准确的监控高速动态变化过程，例如快速给料动作。SLQ-QT105配有4X3MM的PFA管道，该设备无任何活动部件，可在直管流道的管壁里进行无侵害的测量。传感器配备智能数字接口，可靠的RS485的通讯协议适合于长距离通讯，具有较大的总线容量。


特点

• 测量范围高达120ML/MIN（碳烃类液体）
• 在小流量范围内依然保持最高的分辨率
• 快速响应时间低至30MS
• RS485数字接口
• 用于测量光阻及溶剂
• 直管管道，无活动部件
• 可保证的洁净度
• 卓越的耐化学性，惰性材料
• 触液材质：PCTFE, 仅石英玻璃
• 最大工作压力3bar (特定需求下可提高压力)

应用领域

• 高端半导体过程控制
• 快速给料操作

测水基液体，如果流量范围需到120ml/min，请查看我们的液体流量计SLQ-QT500。

SLG64-0075非常适用于在切割边缘UHPLC应用中对动态液体流量进行监控。高灵敏度CMOSens®微芯可通过熔融石英流道对质量流量进行检测。该流道可承受高达1000 bar/15000 psi的压力。同时，测量响应时间仅为30毫秒。这些性质使得高端SLG64-0075装置特别适用于在切割边缘色谱系统中监控动态流量。高重复性分析-保障了HPLC和微流体系统中最重要的标准。精确模式下最大流量为5µl/分钟，扩展模式下最大流量为20µl/分钟。


特征

• 最高流量[µl/min]：5.0/20
• 0.5nl/min超低流量检测解决方案
• 响应时间：30毫秒
• 重复精度小于 0.6%m.V.
• 介质隔离，超高耐压性
• 熔融石英流道；聚醚醚铜密封
• 1/16''不锈钢配件
• 校准总线接口；RS485和/或12C

应用

• 超高压液相色谱，LC/MS
• 分析仪器&生命科学
• 样品准备
• 检漏

LG01流量开关传感器检测超低液体流量或流体系统中是否存在空气从而使其更加可靠。可测微小流量低至毫升/分钟甚至更小。传感器的输出信号0或5表明当前流量在设定开关值以上或以下。当流量大于设定值或气道中有气泡时，传感器输出一致。液体流量传感器LG01基于非入侵性测量原理，可透过内部玻璃毛细管壁实现对当前流体状况的检测。因此，该传感器具备卓越的生物兼容性和耐化学性。液体流量检测器可在低于100毫秒的响应时间内进行测量。

特征

• 最高流量高达220毫升/分钟（对H2O有效）
• 标准设定开关值：4.5毫升/分钟或0.25毫升/分钟（对H2O有效）
• 启用空气/气泡检测
• 流体连接：OD 1/8" (3.2 mm)用1/4-28标准配件或1/6" (1.6 mm)塑料管
• 低于100毫秒的快速响应时间
• 触液材质：惰性，生物兼容性（玻璃，聚醚醚铜TM, 聚四氟乙烯）
• 5...12V电源电压

应用

• 生物医学装置
• 燃料供给监控
• 实验室自动化
• 生产设备

The LD20-2000T design study embodies such a possibility. A plastic shell provides a flow channel and the substrate for our sensing element. Female Luer lock fittings on both sides enable a quick and easy integration into the fluidic line while the communication is established by cable. The LD20-2000T demonstrates the flexibility and potential of our technology, with advanced flow rate measurements on a cost-effective platform.

独一无二的 CMOSens® 平面封装技术适用于年用量 1,0000件以上的应用场合。该创新设计使得Sensirion盛思锐的高灵敏度热式流量传感器微芯片能够隔着平面微流控基片（美国专利号 6813944）内的流道壁面以非侵入式的方法进行测量。此设计保证液体流量测量和气泡探测可以实现微升级的独一无二的灵敏度。将一小块CMOSens® 数字微芯片（2.2 x 3.5 毫米）粘合至微流控通道基片上。在传感组件旁边安装了完整的数字智能以及信号线性化、温度补偿和自测试算法所需要的内存。此芯片提供完整的I²C 数字接口，可以在 2.8 至 3.3 伏的电源电压下运行。必要时，底部的流体埠可以保证离散传感器易于集成，满足集成块设计的要求。此传感器的流量传感响应时间短（约为 40 毫秒），并且可使传感器分辨率小至0.5纳升/分钟。

为能够快速简易地进行初步测算，盛思锐Sensirion的液体流量计测试包中配备了带有RS485接口的液体流量传感器。该测试包具备了在10至15分钟内进行初步测试所需的所有功能。通过特殊的Windows显示软件便可在屏幕呈现出流量的实时数据，并可将其导出为数据文件，由此可进行进一步的Excel数据分析。亦可测量和记录高动态范围的配料过程。

内容

• 选择流量传感器SLI、SLG64或数字式SLQ-QT
• 标定证书和文件
• 带USB连接器的RS485接口
• 流体连接件材质取决于传感器类型
• USB闪存驱动器中的微软Windows软件（XP、Vista 与 Win 7）