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通用高精度绝压传感器 　 CYG002、CYG003 　      以真空压力为零位参考点的大气压、真空度和绝对压力的测量在科学研究和工业仪表中有很广 泛的应用。我们用先进的微机械加工技术制造，参考压力腔用真空静电封接技术开发了该项不同应用 面的系列产品。CYG002用于粗真空度及环境大气压的测量，是膜盒真空计高度计的代替产品及水银 真空压力计的代换产品。CYG003则是采用进口不锈钢波纹隔离膜片为敏感组件制作的通用传感器， 是一种宽量程介质普适性强的绝对压力传感器.   一.主要技术指标   型    号 CYG002 CYG003 量    程 0—100，200KPa 0—10，16，…1000KPa 100MPa 零位输出 ≤±10mV ≤±5mV 满量程输出 30—200mV（视量程而定） 过载能力 200﹪ 供电电源 恒流源供电9 mA或恒压源供电﹢15V 恒流源供电1—2 mA或恒压源供电﹢15V 电桥阻抗 0.3—1 K? 3—6 K 补偿温区 ﹣10℃—﹢60℃ 工作温区 ﹣40℃—﹢80℃ 适用介质 无腐蚀性气体及对硅、玻璃、环氧树脂不腐蚀、相兼容的介质   二.分档性能参数 　              指标 档级 零点时漂 mv8小时 零点温度系数 ×10﹣4 / ℃·FS 灵敏度温度系数 ×10﹣4 / ℃·FS 非线性 ±﹪FS 不重复性，迟滞 ﹪FS A 0.2 5 5 0.5 0.2 B 0.2 3 3 0.3 0.15 C 0.1 2 2 0.2 0.1 D 高精度要求特定   三.标准外形、压力接口及壳体材料     下图为传感器标准外型，压力接口可以在M12×1和M20×1.5选择，亦可特定外型及接口，材料 为1Cr18Ni9Ti。

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